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高纯水在多晶硅生产中的应用

浏览次数:573次发表时间:2017-07-20

高守住纯水-书摘 在多晶硅生产中的应用

2011年11月23日

多晶硅的生产工序复杂,在多晶硅生产中,高纯水主要是用来清洗产品的,几乎每道工序都要使用高纯水,这样产品与水直接接触,使得加工过程中产生的微量污染得以洗净,所以,高纯水品质的好坏将对多晶硅质量起着重要影响。在此生产过程中,如果高纯水中含有微量杂质就有可能使产品再次受到污染,使成品率下降,由此看来,高品质的纯水对多晶硅的生产就显得尤为重要。

水是一种溶解能力很强的溶剂,是因为天然水中含有如下物质:1.电解质,包括带电粒子,常见的阳离子有H+、Na+、K+、NH4+、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等,阴离子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等;2.有机物质,如有机酸、农药、烃类、醇类和酯类等;3.颗粒物;4.微生物;5.溶解气体,包括N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等。



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